俄自研EUV光刻机曝光:11.2nm光源 每小时处理60片12吋晶圆
12月21日消息,俄自据Cnews报导,研E源俄罗斯已公布自主研发的光刻光nm光光刻机路线图,目标是机曝晶圆打造比ASML系统更经济的EUV光刻机。这些光刻机将采用波长为11.2nm的处理镭射光源,而非ASML 使用的片吋标准13.5nm波长。
因此,俄自新技术无法与现有EUV基础设施相容,研E源需要俄罗斯自行开发配套的光刻光nm光曝光生态系统,可能需要数年甚至十年以上时间。机曝晶圆
该光刻机开发计划由俄罗斯科学院微观结构物理研究所的处理Nikolay Chkhalo领导,目标是片吋制造出性能具竞争力且具成本优势的光刻机。具体来说,俄自俄罗斯将采用11.2nm的研E源氙(xenon)基镭射光源,取代ASML 的光刻光nm光基于激光轰击金属锡(tin)液滴产生EUV光源的系统。
Chkhalo表示,11.2nm的波长能将分辨率提升约20%,不仅可以简化设计并降低光学元件的成本,还能呈现更精细的细节。此外,该设计可减少光学元件的污染,延长收集器和保护膜等关键零件的寿命。
俄罗斯曝光机还可使用硅基光阻剂,预期在较短波长下将具备更出色的性能表现。尽管该光刻机的晶圆制造产能仅为ASML 设备的37%,主要因为其光源功率仅3.6 千瓦,但也足以应付小规模芯片生产需求。
尽管11.2nm波长仍属于极端紫外线光(EUV)谱范畴,但这并非单纯的小幅调整。因为所有光学元件包括反射镜、涂层、光罩设计以及光阻剂,都需要针对新的波长进行特别设计与优化。因此,镭射光源、光阻化学、污染控制及其他支援技术也须重新设计,才能确保在11.2nm波长下的有效运作。
以11.2nm波长为基础的工具很难直接兼容现有以13.5nm为基础EUV架构与生态系统,甚至连电子设计自动化(EDA)工具也需要进行更新。虽然现有EDA 工具仍可完成逻辑合成、布局和路由等基本步骤,但涉及曝光的关键制程,如光罩资料准备、光学邻近校正(OPC)和解析度增强技术(RET),则需要重新校准或升级为适合11.2nm的新制程模型。
据报导,该光刻机的开发工作将分为三个阶段,第一阶段将聚焦于基础研究、关键技术辨识与初步元件测试;第二阶段将制造每小时可处理60 片200 毫米晶圆的原型机,并整合至国内芯片生产线;第三阶段的目标是打造一套可供工厂使用的系统,每小时可处理60 片300 毫米晶圆。目前还不清楚这些新的曝光工具将支援哪些制程技术,路线图也未提到各阶段完成的时间表。
(责任编辑:休闲)
-
在今天举行的年度游戏大奖 The Game Awards 颁奖颁奖典礼期间公布了首支完整预告,透露了其所拥有的巨大无缝世界。在提前一周的媒体预告预览期间接受 GameSpot 采访时,GearboxS ...[详细]
-
12月13日消息,据央视新闻报道,新疆巴音布鲁克镇地处高山盆地之中,且平均海拔在2500米以上,冷空气进来就很难出去。今天巴音布鲁克国家气象站,测得的最低温为零下42.5摄氏度,刷新了今年立冬后当地国 ...[详细]
-
老詹30+场次将超乔丹?巴克利: 我惊了,他比乔丹多打了7年啊
老詹30+场次将超乔丹?巴克利: 我惊了,他比乔丹多打了7年啊由朋友叫我张学家发表在湿乎乎的话题 vote ...[详细] -
由High Voltage Software, Inc.打造的牌组构建类肉鸽游戏《龙之战线:冒险Dragon Front: Adventures)》,现已上线Steam平台。本作是一款回合制卡牌类Ro ...[详细]
-
大伟老师开全景抓T1独狼由我夸17还不行吗发表在绝地求生 pubg哈哈哈哈哈哈哈哈 ...[详细]
-
12月10日讯 据记者Mark Brus报道,利物浦正在关注弗林蓬和克瓦拉茨赫利亚,以防阿诺德和萨拉赫离队。因为目前迟迟没有与阿诺德和萨拉赫续约,利物浦正在认真的考虑替代他们的球员。萨拉赫、范迪克以及 ...[详细]
-
基恩:利物浦一定不敢相信领先曼城8分曼城若下周输利物浦就出局
11月26日讯基恩接受采访,他认为利物浦在英超领先优势扩大的同时,还将面临与曼城下轮英超)的关键战考验。基恩:"领先第二曼城)8分。我打赌他们利物浦)一定不敢相信,利物浦表现出色,完全有机会赢得冠军。 ...[详细] -
12月13日消息,IIHS美国道路安全保险协会)近日公布了一项调查数据:车身高度越高主要是引擎盖前边缘高度),在碰撞时对行人的伤害越大。IIHS总裁大卫哈基指出,速度的增加确实会增加车辆碰撞对行人的危 ...[详细]
-
【战报新闻】德国杯-十人拜仁0-1勒沃库森止步16强 诺伊尔17分钟直红诺伊尔染红,泰拉破门,拜仁0-1不敌勒沃库森,无缘八强。心里苦😢拜仁德国杯止步16强,凯恩退出本赛季第一项冠军争夺止3轮不胜!巴 ...[详细]
-
12月10日讯 在与苏亚雷斯分道扬镳后,北京国安官方宣布新任主教练为基克-塞蒂恩。北京电视台“天天体育”报道,据知情者透露,塞蒂恩从诸位竞争者中脱颖而出,源于他更适合执教没有巨星的技术型球队。北京国安 ...[详细]